存儲(chǔ)芯片晶圓級(jí)測(cè)試系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 存儲(chǔ)芯片晶圓級(jí)測(cè)試系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購(gòu)品目： -半導(dǎo)體器件參數(shù)測(cè)量?jī)x 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)標(biāo)的名稱：存儲(chǔ)芯片晶圓級(jí)測(cè)試系統(tǒng) 主要功能： 搭配測(cè)試板卡直接對(duì)晶圓測(cè)試，準(zhǔn)確測(cè)取晶圓數(shù)據(jù)，分析晶圓不同位置的器件性能，分析工藝參數(shù)對(duì)器件影響，反饋到光刻制程，建立器件可靠性與光刻參數(shù)工藝庫(kù)，目標(biāo)提高測(cè)試和工藝優(yōu)化迭代效率。 采購(gòu)標(biāo)的數(shù)量：臺(tái) 質(zhì)量要求： 、可實(shí)現(xiàn)對(duì)新型存儲(chǔ)器芯片的性能測(cè)試； 、最多提供路數(shù)字通道資源，可進(jìn)行最多并行同測(cè)； 、可與/連接，進(jìn)行自動(dòng)測(cè)試； 、最大支持路源，路，路單元和卡； 、支持最高工作頻率；測(cè)試通道頻率支持最高。 服務(wù)、安全、時(shí)限等要求： 提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。