離子刻蝕機 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 離子刻蝕機 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設備 采購需求概況 ： 采購標的名稱：離子刻蝕機 主要功能： 用于實現(xiàn)英寸基片上的高密度、小尺寸存儲器件的均勻刻蝕。 采購標的數(shù)量：臺 質量要求： 、單器件尺寸優(yōu)于，間距低于； 、離子束源和基片表面相對角度：-度可調； 、具備元素分析功能，實時監(jiān)測被刻蝕元素含量； 、可精確控制復雜結構功能層材料的刻蝕深度和刻蝕選擇比。 服務、安全、時限等要求： 提供設備驗收合格后年質保。提供符合現(xiàn)場實際情況的設備安裝方案。設備訂單生成后年內交貨安裝完成。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。