吋超聲掃描設備 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 吋超聲掃描設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -其他分析儀器 采購需求概況 ： 本項目待開發(fā)片間混合鍵合可以實現(xiàn)百納米至微米的鍵合節(jié)距，可以變革性改善片內與片間互連能力失調的嚴重問題。界面缺陷、沾污等會在鍵合界面產(chǎn)生界面空洞，進而對鍵合強度產(chǎn)生影響，超聲掃描設備是表征界面空洞的尺寸和數(shù)量的必要檢測設備，因此急需此設備開展芯片至晶圓鍵合界面的質量評估進而支撐鍵合工藝優(yōu)化。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。