先進(jìn)光刻版制版 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 先進(jìn)光刻版制版 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -其他專(zhuān)業(yè)技術(shù)服務(wù) 采購(gòu)需求概況 ： 主要針對(duì)光刻的測(cè)試版圖制版，驗(yàn)證模型精度。需要次制版，掩模版等級(jí)為最高等級(jí)。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。