掩模復(fù)制裝置研發(fā) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 掩模復(fù)制裝置研發(fā) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 其他工程和技術(shù)的研究與試驗(yàn)開(kāi)發(fā)服務(wù) 采購(gòu)需求概況 ： 采用電子束直寫(xiě)加工的掩模加工周期長(zhǎng)、效率低。因此需要掩模掩模復(fù)制裝置，開(kāi)發(fā)掩模復(fù)制工藝，提高掩模的加工效率，滿足項(xiàng)目需求。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。