深圳大學(xué)玻璃通孔清洗系統(tǒng)意向公開
采購(gòu)單位:
深圳大學(xué)
項(xiàng)目名稱:
玻璃通孔清洗系統(tǒng)
預(yù)算金額(元):
,,.
采購(gòu)品目:
電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備
采購(gòu)需求概況:
該項(xiàng)目需包含清洗設(shè)備和強(qiáng)堿供液系統(tǒng)。該項(xiàng)目所含的清洗設(shè)備用于硅片或玻璃基板的濕法清洗,需滿足標(biāo)準(zhǔn)(/)工藝要求;清洗設(shè)備需具備多槽式設(shè)計(jì),支持去離子水沖洗、氮?dú)飧稍锏裙δ?;清洗設(shè)備需具備板級(jí)及晶圓級(jí)兆聲系統(tǒng)、超聲系統(tǒng)、清洗系統(tǒng)、干燥系統(tǒng)、自動(dòng)傳送系統(tǒng),清洗設(shè)備兆聲清洗功率需≥,且所有系統(tǒng)均兼容英寸晶圓和*玻璃基板。該項(xiàng)目所含的強(qiáng)堿供液系統(tǒng)用于玻璃通孔的濕法清洗與刻蝕。
預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間:
-
聯(lián)系人:
陳老師
聯(lián)系電話:
備注:
無
本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排,具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)
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