深圳職業(yè)技術(shù)大學(xué)紫外光刻機(jī)意向公開(kāi) 采購(gòu)單位: 深圳職業(yè)技術(shù)大學(xué) 項(xiàng)目名稱: 紫外光刻機(jī) 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購(gòu)品目: 其他儀器儀表 采購(gòu)需求概況: 因?qū)W院科研與教學(xué)實(shí)訓(xùn)建設(shè)需要，需采購(gòu)“紫外光刻機(jī)”。光刻工藝是半導(dǎo)體器件制造的核心技術(shù)之一，紫外光刻機(jī)是微納加工工藝中必不可少的設(shè)備之一。考慮到《光刻工藝原理與應(yīng)用》、《半導(dǎo)體物理與器件》和《半導(dǎo)體制造設(shè)備運(yùn)維》等是集成電路工程技術(shù)專業(yè)（群）的專業(yè)課，根據(jù)集成電路工程技術(shù)專業(yè)的人才培養(yǎng)目標(biāo)和學(xué)生就業(yè)需要，半導(dǎo)體器件制造中的光刻工藝也是學(xué)生必須掌握的重要技能。 本設(shè)備旨在支持學(xué)生深入學(xué)習(xí)半導(dǎo)體制造過(guò)程中光刻工藝的操作技能，同時(shí)滿足培養(yǎng)學(xué)生在半導(dǎo)體行業(yè)先進(jìn)設(shè)備操作和制造工藝研發(fā)等方面能力的需求，每年可支撐課時(shí)。目前學(xué)院尚無(wú)滿足需求的教學(xué)設(shè)備，購(gòu)置該設(shè)備對(duì)于填補(bǔ)教學(xué)空白、提升教學(xué)質(zhì)量具有重要意義，是項(xiàng)目實(shí)施的必要條件。 聯(lián)系人: 馮老師 聯(lián)系電話: 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間: - 備注: 無(wú) 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排,具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)