高阻襯底單片型硅像素探測器芯片工藝驗證及流片項目 項目所在采購意向： 中國科學院高能物理研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院高能物理研究所 采購項目名稱： 高阻襯底單片型硅像素探測器芯片工藝驗證及流片項目 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 采購需求概況 ： 制程工藝流片，需支持使用歐姆厘米以上高阻襯底寸晶圓，需提供完整模擬和數(shù)字電路設計庫，并能按照采購單位設計要求調整工藝、增加或調整光罩層，預期年月之前可完成工藝調整和芯片流片。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。