高通量電子束蒸發(fā)薄膜制備系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向： 重慶大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 重慶大學(xué) 采購項(xiàng)目名稱： 高通量電子束蒸發(fā)薄膜制備系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空應(yīng)用設(shè)備 采購需求概況 ： 該系統(tǒng)采用前開門式不銹鋼腔體設(shè)計(jì)，配備分子泵組、進(jìn)樣室、穴電子束蒸發(fā)源、高通量模塊、霍爾離子源、高精度石英晶體膜厚儀，擬建設(shè)為一套集超高真空環(huán)境、精密膜厚控制與高通量制備功能于一體的先進(jìn)薄膜沉積平臺(tái)。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。