原子層沉積系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 原子層沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 真空應(yīng)用設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 名稱(chēng)：原子層沉積系統(tǒng) 、目標(biāo)：對(duì)核孔膜材料進(jìn)行封裝或表面修飾，能夠滿足及終端輻照的核孔膜寬幅，實(shí)現(xiàn)在米級(jí)核孔膜表面沉積多種氧化物。 、數(shù)量：套。 、技術(shù)指標(biāo)： （）腔室有效鍍膜區(qū)域不小于 × ,可同時(shí)放片 × 基底；（）極限真空≤. ，由全量程規(guī)和薄膜規(guī)組成的真空計(jì)組，測(cè)量范圍×- -大氣壓，精度滿量程的±%；（）腔體加熱溫度范圍：室溫-℃，控制精度± ℃；（）路金屬前驅(qū)體系統(tǒng)，源瓶容量≥ ，源瓶和管路可加熱至 ℃；（）氧源： 套水源，配置≥ 直通源瓶； 路臭氧源，含臭氧發(fā)生器；（）載氣系統(tǒng)： 路，可接入氮?dú)?，質(zhì)量流量計(jì)+氣動(dòng)閥控制；（）具備報(bào)警系統(tǒng)：具有火焰報(bào)警系統(tǒng)，當(dāng)檢測(cè)到火焰，切斷電源并報(bào)警；具有冷卻水、、 傳感系統(tǒng)，當(dāng)廠務(wù)冷卻水、、壓力不滿足使用條件時(shí)，停止工藝并報(bào)警；（）包含控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)沉系過(guò)程自動(dòng)控制；（）工藝交付，可實(shí)現(xiàn), ，等材料的穩(wěn)定沉積，包含低溫工藝，沉積溫度不超過(guò)℃；（）厚度均勻性≤±%。 、質(zhì)量和服務(wù)：（）投標(biāo)方需為本項(xiàng)目配備足夠的售后服務(wù)力量，具有國(guó)內(nèi)本地化的服務(wù)團(tuán)隊(duì)。（） 投標(biāo)方售后服務(wù)響應(yīng)時(shí)間：電話響應(yīng)時(shí)間要求小時(shí)內(nèi)，到場(chǎng)響應(yīng)時(shí)間要求個(gè)工作日內(nèi)（指從接到報(bào)障至到達(dá)故障現(xiàn)場(chǎng)的時(shí)間）。（）投標(biāo)方免費(fèi)提供技術(shù)支持熱線電話。（）投標(biāo)方免費(fèi)提供技術(shù)支持，并且在小時(shí)內(nèi)回復(fù)。（） 投標(biāo)方提供儀器設(shè)備的免費(fèi)保修期主機(jī)一年，配件一年（保修期內(nèi)免費(fèi)維修并更換除消耗品以外的零部件，維修人....