超長高度多弧離子鍍膜機
項目所在采購意向:
中國科學(xué)院近代物理研究所年至月政府采購意向
采購單位:
中國科學(xué)院近代物理研究所
采購項目名稱:
超長高度多弧離子鍍膜機
預(yù)算金額:
.萬元(人民幣)
采購品目:
真空應(yīng)用設(shè)備
采購需求概況 :
、名稱:超長高度多弧離子鍍膜機 、目標(biāo):建設(shè)核孔膜材料功能化的材料沉積設(shè)備,有效制備寬幅兼容及終端核孔膜的輻照寬幅,可實現(xiàn)在平級級核孔膜表面沉積金屬、金屬合金、部分金屬氮化物。 、數(shù)量:套。 、技術(shù)指標(biāo): ()真空腔體材質(zhì):及以上材質(zhì);()有效鍍膜區(qū)域:直徑≥ 、高度≥ ;()極限真空優(yōu)于×- ;()真空規(guī)測試范圍:大氣壓-×- ;()抽速:從大氣壓抽.-,≤分鐘(空爐、冷態(tài));()沉積方式:多弧離子鍍和中頻磁控濺射; ()沉積材料包括:金屬(、等)、金屬合金、金屬氮化物,對于和沉積提供工藝交付;()基底溫度范圍:室溫- ℃、加熱精度:± ℃;()厚度均勻性≤±%;()含電氣控制系統(tǒng): 全自動控制,可運行多種工藝設(shè)置和安全保護; 、質(zhì)量和服務(wù):()投標(biāo)方需為本項目配備足夠的售后服務(wù)力量,具有國內(nèi)本地化的服務(wù)團隊。() 投標(biāo)方售后服務(wù)響應(yīng)時間:電話響應(yīng)時間要求小時內(nèi),到場響應(yīng)時間要求個工作日內(nèi)(指從接到報障至到達故障現(xiàn)場的時間)。()投標(biāo)方免費提供技術(shù)支持熱線電話。()投標(biāo)方免費提供技術(shù)支持,并且在小時內(nèi)回復(fù)。() 投標(biāo)方提供儀器設(shè)備的免費保修期主機一年,配件一年(保修期內(nèi)免費維修并更換除消耗品以外的零部件,維修人員的路費、食宿等自理)。()投標(biāo)方提供該設(shè)備的技術(shù)使用說明書及外購配件儀器說明書,并指導(dǎo)在使用該設(shè)備時的操作注意事項等。() 投標(biāo)方提供配套軟件至少三年的免費升級服務(wù)。()投標(biāo)方需將設(shè)備運送指定地點,并免費提供設(shè)備調(diào)....
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