原子層沉積設(shè)備 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 原子層沉積設(shè)備 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 電氣物理設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)標(biāo)的物名稱(chēng)：原子層沉積設(shè)備； 采購(gòu)數(shù)量：臺(tái)； 采購(gòu)標(biāo)的物要求：主要用于致密、均勻、厚度原子層可控絕緣介質(zhì)層和導(dǎo)點(diǎn)層沉積。具備熱法沉積和等離子體增強(qiáng)沉積兩種方式，可以實(shí)現(xiàn)氧化鋁、氧化硅、氧化鉿等介質(zhì)層材料的沉積及、等導(dǎo)電材料的沉積，具備至少兩個(gè)工藝腔室，厚度表面粗糙度小于.，最大尺寸達(dá)到英寸，片內(nèi)厚度均勻性＜%。貨期：從合同簽訂在個(gè)月內(nèi)交貨；保修期:年，提供現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)咨詢，提供免費(fèi)培訓(xùn)，保內(nèi)維修承諾: 免費(fèi)更換配件，報(bào)修承諾: 小時(shí)。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。