磁控濺射設(shè)備 項目所在采購意向： 年月政府采購意向 采購單位： 采購項目名稱： 磁控濺射設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電氣物理設(shè)備 采購需求概況 ： 采購標的物名稱：磁控濺射設(shè)備； 采購數(shù)量：臺； 采購標的物要求：均一性：英寸范圍內(nèi)薄膜（薄膜，、、）均勻性&;%。半導體器件金屬互聯(lián)與功能層制備的核心儀器實現(xiàn)晶圓級高致密金屬層（//）、高κ氧化物介質(zhì)層（？/？？）及氮化物鈍化層（/）的可控沉積，構(gòu)筑低電阻、高粘附性的復(fù)合薄膜體系，且滿足后續(xù)器件工藝所需的熱穩(wěn)定性與界面兼容性要求。到貨周期：合同簽訂，預(yù)付款完成后的個月內(nèi)；保修期：驗收后年，提供培訓和終生技術(shù)支持。保內(nèi)維修承諾：免費更換維修，無人工費用；報修完成時間：一周內(nèi) 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。