哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）真空電子束蒸鍍系統(tǒng)設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目意向公開 采購(gòu)單位: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳） 項(xiàng)目名稱: 真空電子束蒸鍍系統(tǒng)設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購(gòu)品目: 電子光學(xué)及離子光學(xué)儀器 采購(gòu)需求概況: 為滿足科研需求，現(xiàn)計(jì)劃采購(gòu)套英寸高真空電子束蒸鍍系統(tǒng) ，旨在實(shí)現(xiàn)大面積高質(zhì)量薄膜的穩(wěn)定制備。該系統(tǒng)必須能夠提供優(yōu)于 ×^-的極限真空環(huán)境 ，并確保在英寸樣品范圍內(nèi)的鍍膜厚度均勻性優(yōu)于±% 。核心蒸發(fā)源需配備個(gè)容量為的坩堝，且具備自動(dòng)旋轉(zhuǎn)選擇坩堝及電子束自動(dòng)掃描的功能 。為達(dá)到真空要求，系統(tǒng)需配置抽速不低于 /的前級(jí)泵 和抽速不低于 /的高真空冷泵 。此外，系統(tǒng)需搭載全自動(dòng)控制系統(tǒng)，具備用戶權(quán)限管理、工藝流程一鍵啟動(dòng)、數(shù)據(jù)記錄與故障報(bào)警等功能 。供應(yīng)商須承諾在合同簽訂后個(gè)月內(nèi)完成交貨 ，并提供自設(shè)備驗(yàn)收合格之日起不少于年的整機(jī)質(zhì)保服務(wù)。 聯(lián)系人: 肖老師 聯(lián)系電話: 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間: - 備注: 無(wú) 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排,具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)