浸沒式涂膠顯影機 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 浸沒式涂膠顯影機 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子工業(yè)生產設備 采購需求概況 ： 主要用于浸沒式光刻膠的旋涂，烘烤以及顯影。并具備和浸沒式光刻機聯(lián)機功能，能夠進行曝光前晶背處理以及曝光后表面處理。涂膠均勻性需滿足浸沒式曝光需求；具備負顯影工藝能力。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。