一、項目編號：-（招標文件編號：-） 二、項目名稱：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所定制超均勻膜厚表面修整模塊加工服務(wù)采購項目 三、中標（成交）信息 供應(yīng)商名稱：泱新（上海）科技有限公司 供應(yīng)商地址：中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)富特北路號幢層室 中標（成交）金額：.（萬元） 四、主要標的信息 序號 供應(yīng)商名稱 服務(wù)名稱 服務(wù)范圍 服務(wù)要求 服務(wù)時間 服務(wù)標準 泱新（上海）科技有限公司 定制超均勻膜厚表面修整模塊加工服務(wù) 定制加工超均勻膜厚表面修整模塊設(shè)備的工作原理基于離子束的物理濺射效應(yīng)。高能離子束被精確聚焦并掃描到待修整的薄膜材料表面。離子束與材料表面發(fā)生相互作用，導(dǎo)致材料表面的原子或分子被濺射出來，從而實現(xiàn)材料的去除和修整。 通過調(diào)整離子束的能量、束流密度和掃描速度等參數(shù)，定制超均勻膜厚表面修整模塊設(shè)備可以實現(xiàn)對材料表面的納米級精確修整。 模塊驗收完成后個月 可以精準修整二氧化硅（）,修整后膜厚片內(nèi)均勻性&; （σ），最大刻蝕速率≥/，修整后產(chǎn)品表面粗超度&;（測試） 五、評審專家（單一來源采購人員）名單： 任宇紅 陳榮榮 馬榮榮 蔣建強 周民（用戶代表） 六、代理服務(wù)收費標準及金額： 本項目代理費收費標準：號文 本項目代理費總金額：. 萬元（人民幣） 七、公告期限 自本公告發(fā)布之日起個工作日。 八、其它補充事宜 本項目采用綜合評分法，中標供應(yīng)商的評審總得分為.分。 附件：招標文件 九、凡對本次公告內(nèi)容提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。 .采購人信息 名 稱：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所　　　　　 地址：上海市長寧路號　　　　　　　　 聯(lián)系方式：胡森 , -....