上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司迎來發(fā)展史上具有里程碑意義的重要時刻——年產(chǎn)5萬噸集成電路關(guān)鍵工藝材料及總部、研發(fā)中心項目正式開工。該項目立足服務(wù)國家戰(zhàn)略,致力于打造以自主創(chuàng)新為內(nèi)核的世界級集成電路材料基地,擬投資18.5億元,占地128畝,預(yù)計2027年11月投產(chǎn),2032年達產(chǎn)。

一期建成達產(chǎn)后,將形成年產(chǎn)5萬噸集成電路關(guān)鍵工藝材料的產(chǎn)能,包括超純芯片清洗液系列5000噸/年、超純芯片電鍍液系列6500噸/年、超純芯片蝕刻液系列33500噸/年、化學(xué)機械拋光液系列5000噸/年??偛繉⒓裳邪l(fā)中心、運營中心、結(jié)算中心、物流中心和培訓(xùn)中心功能,研發(fā)中心將打造國際一流的集成電路材料研發(fā)與創(chuàng)新平臺


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