項目名稱:北京懷柔實驗室年第三批機電設(shè)備采購項目 項目編號:- 招標(biāo)范圍:磁退火爐作為磁敏感薄膜熱處理的核心裝備,將支撐科研項目的磁性能調(diào)控,需具備多片晶圓批量處理能力(≥片英寸晶圓同步退火)、精確可控的磁場環(huán)境(-連續(xù)可調(diào))、高真空腔體條件(≤- )、均勻穩(wěn)定的溫場控制(±℃),以實現(xiàn)薄膜晶體結(jié)構(gòu)優(yōu)化、磁各向異性增強及靈敏度提升,為高一致性磁敏感器件的大規(guī)模制備提供可靠工藝保障。 招標(biāo)機構(gòu):天恒招標(biāo)有限公司 招標(biāo)人:北京懷柔實驗室 開標(biāo)時間:-- : 公示時間:-- : - -- : 中標(biāo)結(jié)果公告時間:-- : 中標(biāo)人:&;?. 制造商: . 制造商國家或地區(qū):日本
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